论文摘要：基于平板太阳能吸热涂层的连续卷绕镀膜设备的研制

        平板太阳能吸热涂层是制约国内平板太阳能集热器产业发展的瓶颈，本文在调研大量卷绕镀膜设备的基础上，提出了一套有针对性的磁控溅射连续卷绕镀膜设备设计方案。该设备体积小，成本低，性能优越，在集成其它设备各优点基础上，对关键结构进行了改进和优化。在国内镀膜设备市场普遍为大中型设备的背景下，这种小型化、集成化设备具有较好的市场前景和科研价值。

       根据平板太阳能吸热涂层制备工艺的难点，作者对方案中关键系统如靶系统布局、卷绕系统各托辊布局等做了设计和优化，最终完成了真空机组的优化配置以及靶系统、卷绕系统、外围辅助系统机械方案的设计。其中，靶系统在借鉴传统圆柱靶结构的基础上，重点对靶系统中冷却结构、靶材布局等进行了设计。在卷绕系统中对各辊轴轴系平行度影响镀膜效果进行了定性分析，并在相关轴系的机械结构中加入了抗弯曲设计思路。在外围辅助系统中，考虑到设备对密封的特殊要求，重点对密封系统了设计和阐述，同时对真空室的焊接工艺提出了较为详细的要求，以保证真空室在焊接过程中焊缝

成型及密封效果合格。针对镀膜过程中普遍存在的镀膜不均匀现象，文中建立了收放卷运动学方程，并通过力学计算得出了恒张力控制的本质，在此基础上，提出了详细的张力系统控制策略。

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