免费论文摘要：大路途高精度二维挪动柔性处事台安排

  柔性组织具备无冲突、一直隙、高精度等特性，在精细工程范围具备诸多典范的运用。而保守柔性组织路途过小已不许满意某些特出运用需要，大路途的柔性组织发端备受关心。暂时，跟着大路途XY柔性处事台的需要日新月异，本来现本领也变成组织学范围亟待处置的课题之一。 正文以光电子封装为运用后台，重要接洽大路途高精度XY柔性处事台的安排题目。鉴于模块化的安排观念，运用大路途柔性单位，归纳出多种各别构型的XY挪动处事台，均具备穿插轴解耦、冗余牵制及镜像/回旋对称构造个性。进一步运用寄生疏通积累安排本领，归纳出一种可灵验控制了面内回旋缺点的柔性处事台。 对准4-PP型、8-PP型、4-PP&1-E型和4-PP积累型柔性处事台，顺序创造了它们的柔度矩阵表面模子及有限元仿真模子，并经过有限元仿真截止考证了柔度矩阵表面模子的精确性，二者缺点很小。鉴于仿真截止与表面领会截止，实行了XY柔性处事台的矫正型安排。有限元领会截止表露，矫正型安排的穿插轴解耦、位移伴随精细性、控制寄生缺点等个性均明显优于其原形。 对原形与矫正型柔性处事台举行安排加工，并举行了刚度、寄生疏通等个性的比较考查。试验截止考证了矫正计划的灵验性，以及表面模子和有限元模子的精确性。 最后，实行音圈电机、启动器与光栅源代码器等硬件选型，搭建了大路途XY柔性处事台体例，经过音圈电机径直启动实行两轴向独力疏通。试验截止表露，所搭建的处事台具备较大的路途和较高的精度，可满意光电子封装行业运用需要。

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