论文摘要：精密工作台运动控制系统研究

激光划切机在高速加工下切割LED晶圆得到干净的断裂面，制造窄而深的激光划切裂缝，要达到这样的工艺效果就要求同时激光划切工作平台具有较高的响应速度、准确的定位精度以及重复精度。本文针对精密工作台运动控制系统研究，并对直线电机及其伺服控制系统建模，研究位置环控制策略，针对传统PID控制技术在实际运动平台中出现的问题，提出模糊自整定PID算法，提高工作台的位置精度和重复精度，由于系统中出现的摩擦等非线性问题，提出自抗扰技术，设计激光划切机XY运动工作平台。

首先对直线电机的原理进行研究，根据其外形特点不同进行分类，通过对比为本文研究的工作台系统选择合适的直线电机，建立电磁数学模型和动力学数学模型，推导出电机移动距离和绕组线圈之间的传递函数。

通过直线电机的伺服控制分析，研究伺服控制策略。基于对实际工作台的应用研究，本文主要针对位置环进行深入分析来解决实际问题。为了解决工作台的高定位精度、高重复精度问题提出模糊PID控制，由于输出与输入的误差取舍不合理，提出自抗扰技术解决实际中的摩擦等非线性问题。

通过对直线电机及其控制策略的深入研究，本文根据激光划切性能指标要求设计了XY精密工作台运动控制系统，实现了工作台的机械结构和电气系统。通过精度实验，验证了模糊自整定控制器和自抗扰技术有效地提高了工作台定位精度和重复精度。

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