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磁过滤负极电弧堆积本领是在真空负极弧离子镀的普通上,在弧源反面安装一个弧线型的磁过滤通道,将其爆发的直观大颗粒过滤掉。现有真空电弧磁过滤本领普遍沿用圆形弯管构造,过滤后的真空等离子体体散布不平均且表面积小,所以常常须要搀杂、高贵的扫描体例,不符合大范围产业消费。正文对准上述题目,研制了一个矩形委曲电弧磁过滤器安装,该安装不妨在真空腔体内产生带状等离子体体,辅以回旋作件台后将能大大拓宽成膜空间、普及功效、俭朴本钱。 对矩形委曲电弧磁过滤器的构造举行了接洽,在同声商量到大气压、水压、大概用到的委曲电弧磁过滤线圈数目、分量等的情景下,沿用有限元领会的本领,对其板滞构造举行了安排和计划。并按照真空电弧焚烧的特性,接洽了相符合的真空密封、水冷却、绝缘办法。沿用弯管接受委曲电弧磁过滤线圈载荷和非弯管接受委曲电弧磁过滤线圈载荷的两种装载办法,对委曲电弧磁过滤器举行强度校核。 接洽了委曲电弧磁过滤器的磁场二维和三维散布。磁场中真空电弧磁过滤器中,起确定的效率,经过对保守的弯管型委曲电弧磁过滤安装中磁场参数(磁力线目标、磁场强度)平等离子体散布的感化道理和顺序,对矩形委曲电弧磁过滤器的磁场举行了安排。为了减小计划功夫,开始对矩形委曲电弧磁过滤安装的磁场散布模子举行了简化,创造了矩形委曲电弧磁过滤安装的二维有限元模子,经过对安装中,磁过滤线圈个数、安匝数、扫描磁场对磁场的感化接洽,参考圆管委曲电弧磁过滤器的体味和本钱,得出最了性价比最优计划。在此普通上,创造矩形委曲电弧磁过滤安装的三维有限元计划模子,并沿用考查的本领,对三维模子的计划截止举行了论据。 运用郎缪尔双探针的等离子体体丈量的本领丈量了真空腔体内的等离子体体密度和电子温度,并接洽了等离子体体电子密度、温度与气压的联系,截止表白离子密度跟着真空度的减少而减少,矩形委曲电弧磁过滤安装内,等离子体体上、中、下密度散布平均,到达了矩形委曲电弧磁过滤安装,在真空腔体内供给从上至下的平均等离子体体带的诉求。
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