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亚原子力显微镜(AFM)自出生此后获得赶快兴盛,运用范畴也越发普遍。暂时,亚原子力显微术动作纳米级检验和测定的重要本领,重要波及纳米级精度尺寸和位移的丈量,纳米级外表形貌的丈量,以及连年来方才起步的纳米级样本外表力学本能的丈量。更加的,实行纳米级样本外表物理、化学、底栖生物个性的检验和测定必将极地面激动消息本领、细胞力学等范围的兴盛。鉴于轻敲形式亚原子力显微镜兴盛起来的谐波成像本领在检验和测定样本外表力学本能上面遭到普遍的关心,运用高次谐波旗号举行重修针尖与样本彼此效率的力弧线不妨更完备地恢复二者彼此效率的消息,从而赢得样本外表更充分的力学本能消息。正文刻画了运用高次谐波旗号重修针尖与样本彼此作使劲弧线的试验平台的搭建。试验平台运用普遍矩形悬臂探针动作力检验和测定敏锐元件,贯串新式的鼓励探针处事的办法,灵验地普及了微悬臂探针与样本彼此效率所爆发的高次谐波旗号的信噪比,保护了体例对高次谐波旗号的灵验搜集。同声,舆论鉴于微悬臂的振荡办法打开了深刻的表面领会,提出了从原始的光电四象限探测器旗号中滤除探针的鼓励旗号从而领会出针尖与样本彼此效率消息的本领。其余,作品给出了重修力弧线的安排计划和结协力弧线求解样本外表力学本质的本领,且贯串数值仿真赢得了针尖与样本彼此效率的力弧线,及样本外表的力学消息。结果,实行了高次谐波成像试验平台的安排和搭建,实行了运用高次谐波旗号举行力弧线的重修,并经过试验的办法辨别对准各别的样本获得的力弧线举行比较领会,进一步考证结束合高次谐波消息重修力弧线的计划的精确性。要害词:亚原子力显微镜,高次谐波,重修力弧线,试验平台
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