免费论文摘要：一种径直输入频次的MEMS加速率计的建立模型与仿真

微型计算机电体例（Micro-electromechanical systems, MEMS）在产业、农业、军事、底栖生物以及宇航航天等范围具备宏大的运用远景，它具备功耗低、尺寸小、高集成度等便宜。动作MEMS最要害接洽目标之一，微板滞加速率计从来是其接洽热门。加速率传感器按照敏锐机理可分为库容式、谐振式、压电式等。对立于其它几种情势的传感器，谐振凋零板滞加速率传感器具备准数字输入、本能宁静、尝试精度高档便宜，变成暂时接洽热门之一。 正文引见了一种鉴于E型圆膜片的谐振凋零板滞梁式加速率计。该传感器沿用E型圆膜片动作头等敏锐元件，其二级敏锐元件是经过MEMS工艺安装在其上头的谐振梁。舆论所做重要处事如次： 开始，舆论精细引见了微型计算机电体例的接洽后台，囊括MEMS的便宜、国表里接洽近况以及将来接洽预测等。在此普通上，对微板滞加速率传感器的处事机理、分门别类、优缺陷等举行了精细领会，提出了谐振式硅微板滞加速率传感器的安排思维。 其次，舆论安排了一种E型微板滞加速率传感器。在对其处事道理领会的普通上，对传感器膜片因为加速率强加引导的应力散布、谐振梁应力散布举行了表面领会。同声，沿用能量法，创造了谐振梁的有限元模子，赢得了谐振梁刚度矩阵方程。 第三，创造了传感器谐振梁谐振频次与加速率载荷之间的联系模子并沿用有限元法对表面精确性举行了仿真计划。同声，对谐振梁尺寸参数变革、圆形膜片半径和厚薄对传感器本能的感化，加速率载荷融洽振梁频次变革之间的联系举行了计划。在此表面普通上，赢得了优化安排后的尺寸参数。 第四，对微板滞加速率传感器中的计划机扶助安排本领道理、领会办法、本领等举行了引见。沿用关系Ansys软硬件，对因为加速率惹起的E型膜片的位移、应力散布、谐振频次变革等举行了领会。获得了比拟理念截止。 第六，精细引见了可用来对谐振式MEMS加速率传感器进行囊配的微板滞工艺，囊括外表硅工艺、体硅工艺及LIGA工艺等。在此普通上，贯串我国加工工艺近况，对上述工艺的优缺陷举行了领会，最后采用了体硅工艺。而后，精细引见了该传感器的体硅加工工艺过程。 结果，论文华用表面领会与有限元仿究竟贯串的本领，创造了传感器完全有限元模子。而后，给出了传感器尺寸参数的优化安排截止并获得了关系的本能参数，简直如次：E型膜片内径2.1 mm, 外径3.7 mm，厚薄为30μm。谐振梁长度为520 μm，宽窄为50 μm，厚薄为5 μm。在(-100,+100) m/s2量程内，谐振梁1谐振频次变革范畴为137010 - 146752Hz，谐振梁2谐振频次变革范畴为146044 - 137770 Hz，证领会安排表面的精确性。

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