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免费论文摘要:V离子注入硬质合金刃具TiAlN/CrN纳米多层膜的接洽

7865 人参与  2022年05月18日 20:08  分类 : 论文摘要  评论

高速切削硬质合金刃具在人民消费中起到了要害效率,刃具外表镀硬质涂层能普及其切削本能,延迟处事寿命。暂时硬质涂层已兴盛到第三代——多元多层复合地膜。TiAlN/CrN纳米多层膜是第三代地膜的要害分子,它完备硬度高、抗高温氧化本能好、耐磨损等崇高本能。离子注入本领是在不变换基体里面本能的普通上,应用离子束轰击基体注入目的元素,以普及资料外表硬度、耐冲突磨损等本能。 正文以磁过滤电弧镀的本领,在YT15硬质合金上堆积调制周期4nm、地膜厚薄700nm的TiAlN/CrN纳米多层膜。运用非金属蒸汽真空弧离子源(MeVVA)在TiAlN/CrN纳米多层膜外表注入V离子。运用TRIM软硬件模仿V离子注入TiAlN/CrN纳米多层膜进程,领会V在多层膜内的散布。应用GIXRD、XPS、TEM、纳米压痕仪、UMT-2冲突磨损考查机、三维白光干预外表形貌仪等本领、摆设领会了各别V离子注入剂量对地膜的物相、因素、微观构造构造以及直观力学本能、冲突磨损本能的感化。 V离子的注入变换了纳米多层膜的外表构造,妨害了注入区里面的周期性调制构造,感化膜内交变应力场散布。运用GIXRD领会表露,地膜(200)选择优秀者取向被弱化,剩余压应力获得提高。XPS能谱检验和测定表白注入后新天生了VN。注入剂量为0.5X1017ions/cm2在注入层外表产生纳米晶区,普及了该地区邻近的硬度但贬低了膜深层硬度。注入剂量为1X1017ions/cm2在注入层外表产生光滑精致的非晶区,进一步普及了非晶区邻近的硬度但贬低了膜深层硬度。冲突磨损试验表白:冲突系数和注入剂量正关系,而磨损率则先升后降,注入剂量为1X1017ions/cm2时磨损率是未注入地膜的45.5%。

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