免费论文摘要：光导纤维F-P压力传感器工程化运用研制

光导纤维F-P压力传感器动作将来大气数据体例压力丈量单位的杰出采用，有着宏大的商场运用远景。正文经过对国表里接洽近况的领会观察，应用MEMS本领创造光导纤维F-P压力传感器，沿用单晶硅、玻璃、插芯和光导纤维四元从来举行安排，个中单晶硅和玻璃用来创造法珀腔，插芯和光导纤维用来恒定和养护法珀腔。中心接洽了受感芯体的安排及创造工艺，精确了应用真空阳极键合工艺举行硅片与玻璃的贯穿，决定了受感芯体的切片工艺。对准传感器创造实行后尝试数据搜集数据量大、搜集功夫长和处事强度高档特性，安排了机动尝试体例，不只减少了处事强度，还普及了处事功效。对创造实行的传感器举行了本能尝试，就丈量截止的缺点举行了表面领会和考查考证，为传感器工程化运用的后续矫正目标举行了领会。为光导纤维F-P压力传感器在本质操纵、工艺性和财经性等上面工程化运用奠定了普通。

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