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原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)图像处理技术研究一直是AFM 研制的一个重要方面,现有的AFM 图像处理软件基本是根据自身AFM特点开发配套使用的,具有很大的局限性。本文针对AFM图像存在噪声、平面误差及正/反单向扫描测量误差等情况,采用小波与传统技术相结合的方法对其进行处理,并给出了图像典型特征量提取的方法。论文在算法提出、试验结果、结论归纳以及特点分析方面作了详细论述。本论文完成的主要工作如下:应用小波变换法实现了图像噪声的去除,提出了一种改进的阈值修正方法,较好地应用于AFM图像去噪方面;完成了对图像的一次平面倾斜校正及正/反单向扫描测量误差校正,将最小二乘拟合方法及拼接技术应用到图像的二维小波分解低频近似子图像,实现了传统方法与多分辨分析的有效结合,使图像去噪、平面倾斜校正与正/反单向扫描测量误差校正可以同时进行,节省了图像处理时间,为实现实时图像处理奠定了基础;在图像预处理基础上,应用传统边缘检测算子及形态学方法提取了AFM典型图像的局部特征参数。
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