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扫描探针显微术(Scanning probe microscopy, SPM)是二十世纪80岁月展示的一种新式显微查看和领会本领,对纳米高科技的兴盛起了极大的激动效率,暂时已变成发展纳米检验和测定与表征的要害本领之一。SPM重要囊括扫描地道显微术(Scanning tunneling microscopy, STM)、亚原子力显微术(Atomic force microscopy, AFM)、扫描近场光学显微术(Scanning near-field optical microscopy, SNOM)、光子扫描地道显微术(Photo scanning tunneling microscopy, PSTM)以及扫描近场声学显微术(Scanning near-field acoustic microscopy, SNAM)等,它们都是运用探针与外表的那种彼此效率来获得资料在纳米标准上的相映消息。跟着纳米高科技的兴盛,运用那种SPM赢得简单消息仍旧不许满意对资料本质归纳领会的需要,急迫须要归纳多种扫描探针显微本领,经过原位察看的办法获得样本多种消息,普及SPM的归纳显微查看和领会本领。为此,本舆论在国度天然科学基金科学仪器普通接洽专项的帮助下,环绕纳米辨别率扫描探针原位及时显微察看体例发展接洽处事,并对准样本三维扫描及温度遏制、针尖-样本间距遏制、光导纤维探针制备以及扫描近场声显微成像等要害题目,从表面、本领和试验长进行了深刻体例的领会、计划和探究。 在对多项本领深刻接洽并博得冲破的普通上,研制成将STM,AFM,SNOM,PSTM和SNAM与颠倒光学显微镜贯串的扫描探针原位察看体例。该体例既有光学显微镜大范畴、及时察看等特性,还兼备扫描探针显微镜高辨别率的上风。在实行从忽米到纳米范畴的贯串查看的同声具备赢得样本同一微区多种消息的本领,拓展了现有SPM的功效,为在纳米标准上发展资料的构造和本质及其彼此联系的接洽供给新的思绪和试验体例。本舆论重要接洽和计划实质如次:1 在对扫描探针显微术特性及兴盛目标举行综述的普通上,领会了扫描探针显微镜的基础构造、针尖-样本间的效率办法和处事道理,更加是对SPM遏制器的特性和安排本领举行了深刻精致的商量,为扫描探针原位察看体例的构造安排和多种扫描本领的有机贯串奠定了普通。2 按照课题接洽须要,研制出了沿用特出构造构造的枯燥式三维扫描微动安装,兴盛了样本扫描、定位和微动遏制本领;沿用朦胧PID遏制本领实行了样本的赶快变温遏制;研制了鉴于数字电位器的硬件PID通路实行了探针与样本之间隔绝的赶快遏制;处置了多种扫描探针显微本领与颠倒光学显微镜一体化体例中国主要用平台上面的要害本领题目。3 商量了光学探针针尖形势和针尖-试样间隔绝对成像品质的感化以及光导纤维探针的制备本领。在矫正和普及化学侵蚀法治备工艺的普通上,提出了研磨法治备本领,并运用自治摆设,胜利创造出了较为理念的光导纤维探针针尖,为光导纤维探针的制备供给了新的道路。4 对自治的将多种扫描探针显微术与颠倒光学显微镜有机贯串的扫描探针原位察看体例的构造和处事道理举行了领会引见,并对该体例的重要本领目标和功效举行了评测;运用该体例对多种典范样本举行了检验和测定成像,对试验截止举行了领会和计划。 5 对准扫描近场声显微本领上面的关系表面和本领题目举行了较为深刻的接洽和商量,研制出了一种与颠倒显微镜贯串的亚原子力声学显微镜,并对地膜样本和功效陶瓷资料举行了检验和测定和领会,为在纳米标准上接洽样本亚外表构造和外表弹性个性创作了前提。
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