免费论文：石英振梁加速率计温度积累与一格式加工

鉴于石英压电效力的石英振梁加速率计，因体积小、本钱低、径直数字输入，抗过载本领强等特性，在策略导弹、巡弋导弹、车辆导航等百般惯导范围有着普遍运用。         舆论重要发展了石英振梁加速率计的温度个性机理接洽，石英谐振器与石英振梁加速率计温度模子辨识与试验考证，鉴于DSP的加速率计温度积累计划安排与一格式石英振梁加速率计加工。本舆论的工抵制于加速率计精度的进一步普及及一格式加工的实行具备要害的引导意旨。         开始，舆论阐明了石英振梁加速率计的处事道理，领会了加速率计温度缺点爆发的因为和形成的感化，接洽了减小加速率计温度缺点的本领，结果对准尚未处置的题目，对温度积累本领的兴盛举行了预测。         其次，举行了石英谐振器的温度缺点积累。鉴于假造仪器安排了石英谐振器测量温度体例。辨别沿用双端恒定和单端恒定办法举行了全温试验，试验考证单端恒定较双端恒定的办法，频次的温度个性会鲜明普及。对单端恒定石英谐振器的温度缺点模子举行了辨识。积累后温度系数由-0.0481Hz/°C降到了-0.005Hz/°C。         再次，举行了石英振梁加速率计的温度缺点积累。鉴于重力场静态翻腾考查获得了频次温度联系。运用最小二乘法对模子中的系数对于温度举行拟合，获得了振梁加速率计-40°C~60°C的静态温度模子。运用均方根缺点对温度积累功效举行考证，积累后加速率计的频次输入的均方根缺点由10-4数目级普及到了10-5数目级。         为了实行在线温度积累，本课题安排了鉴于DSP的加速率计温度积累计划。过程普遍调查研究与比较，决定运用TMS320F2812芯片实行石英振梁加速率计的在线温度积累。现已鉴于DSP通路板和辨识出的温度模子实行了软硬件安排，囊括完全计划安排、主步调安排、数据搜集模块和串口通讯模块。         结果，在分格式VBA构造的普通上，提出了一种新式的一体差动式石英振梁加速率计构造。安排了一体差动式石英振梁加速率计的微加工工艺过程。决定了石英晶片的规格诉求。对双面光刻和刻蚀工艺等要害工艺举行了接洽，实行了掩模幅员的安排与绘制、要害加工工艺本领与摆设的决定，为一格式加工的实行做好了充溢的工艺筹备。

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