免费论文摘要：沿用VHF-PECVD在不锈钢衬底上堆积非晶硅太阳能干电池

21世纪，人们面对着动力紧急和情况传染的宏大挑拨，开拓新动力和可复活纯洁动力变成最具确定感化的本领范围之一。个中，太阳能光伏本领是连年来兴盛最快、最具生机的可复活纯洁动力本领。动作第二代太阳能干电池，非晶硅地膜干电池不妨贬低干电池本钱，是将来接洽运用的热门之一。本论文华用美国入口的七腔室贯串MVSystems PECVD堆积体例，优化学工业艺，在玻璃衬底上获得光电本质杰出的非晶硅本征层，并将它运用于不锈钢衬底上的非晶硅地膜干电池中，普及干电池的功效。本舆论的重要接洽实质和论断如次：开始，沿用甚高频等离子体体增加强学气相堆积本领（VHF-PECVD，60.293MHZ），在玻璃衬底上制备了氢化非晶硅地膜。在衬底温度和电极间距恒定的前提下，体例地接洽了硅烷浓淡、气体流量、气压和功率对a-Si:H地膜个性的感化。得出如次论断：1.低硅烷浓淡、工业气压强和低功率，不妨赢得低堆积速度,光电导和光敏性比拟崇高的氢化非晶硅地膜。2.气中华全国体育总会流量是给地膜缺点态带来宏大感化的成分之一。不变换其它参数，过量减少气体流量不妨普及堆积速度，获得品质较好的地膜；当气体流量过大时，反馈气体的淹留功夫变短，地膜的堆积速度贬低，光电导、暗电导和光敏性贬低。其次,将工艺优化的本征层运用于不锈钢衬底上制备的非晶硅太阳能干电池中（SS/Ag/AZO/n-a-Si/i/p-a-Si/ITO）。体例的接洽了本征层厚薄、氢等离子体体处置p-i界面、干电池表面积和背曲射极对干电池本能的感化。获得以次论断：1.跟着本征层堆积功夫减少，干电池在300~800nm光带段的量子功效增大，开路电压，短路交流电密度增大。在工艺功夫2900s，本征层厚薄223.3nm时，开路电压是0.96V，弥补因子是45.90%，短路交流电密度是13.81 mA/cm2时，获得干电池最大功效6.11%。2.氢等离子体体处置p-i界面不妨鲜明革新非晶硅太阳能干电池的本能。干电池在黄绿光（560~580nm），黄光（580~595nm）、橙光（595~605nm）和红光(605~700nm)波段光的量子功效明显普及，最大值从84.25%减少到89.87%。开路电压、短路交流电和干电池功效也有明显减少，辨别由0.95V减少至0.97V、由12.45 mA/cm2减少到17.43 mA/cm2，由5.81%减少到6.41%，但是弥补因子贬低。3.沟通工艺前提下制备的大表面积太阳能干电池（0.25 cm2），干电池的短路交流电密度静止，只是与制备工艺前提相关，与干电池表面积巨细无干；弥补因子有大幅度的贬低，这大概归因于，干电池表面积增大后干电池的内阻明显减少，形成弥补因子贬低。总之，太阳能干电池表面积近增大后，干电池的功效与开路电压和弥补因子相关，重要在于于弥补因子。4.背曲射极不妨普及540~800nm光带段光的量子功效，普及短路交流电密度和干电池功效。废除背曲射极后（SS /n-a-Si/i/p-a-Si/ITO），干电池功效由6.23%低沉到5.19%，这大概归因于背曲射极对干电池的交流电密度和弥补因子感化很大，从而感化干电池的功效。该论断对于创造非晶/微晶叠层干电池对光的接收，同样有要害的意旨。

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