免费论文摘要：大表面积InP/InGaAs PIN光电探测器制备接洽

本舆论处事接洽的是大表面积PIN InGaAs探测器，对准大表面积PIN InGaAs探测器的特性，计划了光电探测器的道理、参数安排、创造和尝试等重要实质，按照那些道理，研制出了一批本能杰出的光电探测器。本舆论优化了大表面积PIN InGaAs探测器的安排，革新了探测器的器件工艺和器件本能，利于于器件的进一步适用化，博得了如次截止：1．在对PIN InGaAs光电探测器的道理举行进修和计划的普通上，对探测器外延构造做了优化。2．经过新的电极工艺，革新了欧姆交战，俭朴了消费本钱，普及了处事功效。3．经过矫正钝化学工业艺，赢得了越发符合大表面积PIN InGaAs探测器的钝化膜，经过对反射率和曲射率等的计划，获得了最好的增透功效。4．经过对分散工艺前提的探求，获得了最好的分散前提。5．对尝试参数和尝试摆设做了扼要的计划和证明。

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