论文摘要：微镜空间环形谐振腔的设计与实现技术研究

空间谐振式MOEMS陀螺是一种新型的光学陀螺仪。它是以光学检测原理为基础，综合利用微纳米制造技术、微光学技术研制而成的光机电一体化、微型化、集成化的角度传感器。该陀螺的谐振腔由四面微镜组成。谐振现象对微镜的相对状态有极高的要求，而加工高精度垂直的微镜在当前的工艺水平上却存在困难。因此MOEMS谐振腔的实现可分为两个方向进行研究，分别是分离元件组装调整和一体化加工成型调整方式。本文从集成化角度出发，重点针对一体化加工成型以及一体化调整方案进行研究。提出空间谐振腔的一体化调整方案，即针对使用微加工工艺制作的竖直微镜，通过微镜基底的扭曲产生位移的方法，运用耦合原理将以往避免的调整耦合量作为有益量完成对微镜的空间调整；对该方案进行了理论分析和仿真，结果显示，该方案对微镜的角度（包括俯仰角和偏转角）调整范围大于一体化成型制作微谐振腔时的制作误差。随后进行了实验验证，实验结果显示该方案完全能够实现微镜的高精度空间调整，且具有可靠的调整稳定性和更高的集成度。同时在实验室条件下，通过一系列实验对SU-8光刻胶的相关工艺进行了实验摸索，取得了关于SU-8光刻胶微加工工艺的一些重要的工艺参数，并初步进行了谐振腔的加工，对结果和一些现象进行了相应的分析和讨论，为谐振腔一体化加工后续研究提供参考。

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