免费论文摘要：鉴于光子带隙个性的光学谐振腔安排与加工

光学谐振腔是光学陀螺的中心元件，其是非径直感化到陀螺的本能，囊括精度、宁静性、抗干预本领、动静范畴等。对于保守的光学谐振腔，光重要在介质中传输，这就没辙制止克尔效力、偏振噪声、背向散射噪声、热效力等的感化，极大的控制了陀螺本能的普及。而光子晶体的引入处置了这个题目，更加是介质柱构造的微镜以及空腹光子晶体光导纤维的引入，使光在气氛各向异性介质中传输，大大贬低克尔效力、偏振、散射等噪声等的感化，具备宏大的运用远景。本舆论精细阐明了鉴于光子带隙个性的光学谐振腔的安排与加工。从表面领会和试验考证的观点领会和接洽了鉴于光子晶体微镜的谐振腔以及光子晶体光导纤维谐振腔的构造特性与安排计划。开始综述了光子晶体微镜和光子晶体光导纤维的兴盛过程;引见了光子晶体表面领会本领，运用平面波打开法准时域有限差分本领计划和领会了光子晶体的偏振形式产盼望理、带隙个性和模子特性；领会接洽了光子晶体微曲射镜和输出输入镜以及所建立的微镜式谐振腔的安排计划、生存题目妥协决办法，从试验上体例接洽了鉴于ICP本领的光子晶体微反镜的加工工艺；结果沿用空腹构造的光子晶体光导纤维研制放洋际上第一个集成化的空腹光子晶体光导纤维谐振腔，体例仿真领会和尝试了光子晶体光导纤维谐振腔的本能，精细计划了谐振腔本能的感化成分，正文重要接洽实质如次:第一、实行了介质柱构造的光学谐振腔安排，精确了该器件的特性参数和本领诉求。运用平面波打开法领会和计划了各别气氛比的光子晶体微曲射镜和输出输入镜的导波个性，归纳微纳加工本领的可行性，决定了光子晶体微曲射镜和输出输入镜的构造参数和光学个性，并提出运用光子晶体啮合谐振腔本领准直输出输入光束，以保护光在谐振腔内的屡次轮回传输。第二、运用ICP（感触啮合离子体刻蚀）本领实行了光子晶体微曲射镜的加工。体例阐明了等离子体体刻蚀的加工道理，比拟了几种罕见的等离子体刻蚀本领，如IBE、RIE、DRIE等的加工特性和本领诉求，从试验上体例接洽了ICP加工光子晶体微镜的加工本领和刻蚀气体压强、养护气体的流量等工艺参数对刻蚀形貌、深宽比等加工品质的感化，介质柱直径140nm，实行了深宽比3：1的加工工艺，并给出光子晶体微曲射镜的加工截止和加工精度感化成分领会。第三、初次提出鉴于微光学集成本领的空腹光子晶体光导纤维谐振腔的安排计划和实行本领。从表面上领会了空腹光子晶体光导纤维与保偏振光纤、保偏振光纤与保偏振光纤、光子晶体光导纤维与光子晶体光导纤维对接啮合耗费、分光镜分光比等参数对光子晶体谐振腔本能的感化，从试验上接洽了空腹光子晶体光导纤维谐振腔啮合对接、恒定等要害本领的实行道路，结果实行了谐振腔的研制，并举行了尝试，赢得发端功效。正文安排的光学谐振腔都是沿用光子晶体构造的光学器件，在体积、本能上都有较大的上风。微纳光子陀螺是光学器件集成一体化的简直运用典型，但它的完备实行还须要光子晶体器件普通接洽和加工工艺的连接超过。

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