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谐振式光学陀螺的敏锐器件光学环形谐振腔不妨沿用很短的光导纤维或集成光学的本领来实行,所以在袖珍化和集成化上具备特殊的上风。谐振式集成光学陀螺沿用进步的光电子集成本领,其环形谐振腔由集成光带导形成,具备全固态的构成构造,对立于保守的板滞陀螺,不妨接受更大的报复和振荡,具备寿命长、动静范畴宽、功耗低、分量轻等便宜。然而光路噪声控制了谐振式光学陀螺的精度,个中偏振噪声是谐振腔中的重要噪声之一,本舆论环绕偏振噪声道理发展了深刻的接洽并提出了关系的控制本领。正文开始引见了谐振式光学陀螺的基础道理,对其要害器件——谐振腔的谐振个性作了表面领会接洽。运用琼斯矩阵法创造了谐振腔偏振个性的数学模子。对感化集成光学陀螺偏振噪声的重要成分——输出光偏振态、波导的保偏个性和温度变革的感化举行了领会,并经过试验对仿真截止举行了考证。对现阶段偏振噪声的控制本领举行了深刻的归纳领会,得出实用于正文体例的最好接洽计划。领会了芯层应力惹起的应力双反射和芯层的不对称尺寸引导的好多双反射。精细引见了运用好多双反射安排保偏波导的本领,决定在单模前提下高双反射保偏波导的安排计划。运用有限元软硬件Ansys领会了硅基二氧化硅光带导的应力散布,截止表白波导重要受横向压应力感化,并且应力重要会合在芯区和包层的界面邻近。按照波导的应力变革,求解出波导的反射率变革。对在硅基底上运用等离子体体巩固型化学汽相堆积和感触啮合等离子体刻蚀创造硅基二氧化硅波导的工艺举行了引见。
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