论文摘要：一种容栅位移传感器的研制

容栅位移传感器是19世纪70年代发展起来的一种新型位移传感器，它具有体积小，重量轻，结构简单，功耗低（20mA—30mA），可用电池工作，速度快，价格便宜等优点，因此得到越来越广泛的应用。本文首先总结了容栅位移传感器的研究现状和发展趋势，指出了研究容栅角位移传感器的意义，同时确定了本次研究要解决的难点；其次，根据容栅角位移传感器的工作原理和技术指标，对容栅角位移传感器的定转子以及电器部分和机械部分进行了设计，并根据容栅角位移传感器的设计，制定了制作工艺，对其中的特殊制作工艺：扇形线的刻划和高平面度的制作，这两方面的制作原因进行了理论分析；再次，确定了检测工具和检测规程，对影响容栅角位移传感器精度的因素：重复性、安装偏心、对径设计，都从检测数据中直观的进行了验证；最后，指出具有绝对零位的高精度容栅角位移传感器是容栅角位移传感器未来的发展趋势，并指出研制具有绝对零位的容栅角位移传感器必须要解决的两个关键问题：即初态问题和精度问题，并根据工作经验，对具有绝对零位的高精度容栅角位移传感器定转子进行了初步设计。

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