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异质地膜/基体界面包车型的士失配应急和对应的失配应力激烈地感化着地膜/基体体制的直观本能,体例接洽异质地膜体制相界面包车型的士微观构造不妨优化制备工艺,到达普及地膜/基体本能的手段。因为氮化铬地膜具备韧性高、耐磨性好、涂层贯串强度高、更好的抗高温氧化性和抗侵蚀性以及内应力低等,在公共汽车产业、宇航航天等范围博得了很好的运用功效。其余因其具备崇高的电磁本能,氮化铬也被视为具备崇高运用远景的电磁资料而备受关心。 本文华用非平稳磁控溅射本领辨别在α-氧化铁(1120 )、氧化镁(111)和α-氧化铁(0001)单晶基体上制备氮化铬地膜,运用进步的球差校正透射电子显微镜在亚原子标准级别查看CrN/α-Al2O3(1120 )、CrN/MgO(111)、CrN/α-Al2O3(0001)三个体制中相界面包车型的士微观构造,不妨查看和领会相界面上位错等缺点。每个体制的相界面都从两个彼此笔直的目标举行查看,并运用领会软硬件对试验数据举行领会。 试验截止表白: 1) CrN/α-Al2O3(1120 )体制取向联系为CrN(111)[112 ][1 10 ]//α-Al2O3 ( 2 1 10 )[0001][ 01 10 ];界面失配位错为刃型位错,其伯格斯矢量目标平行于相界面;三种本领丈量的失配位错间距辨别为2.68±0.24nm, 2.61±0.20nm, 2.71±0.22nm;相界面邻近与相界面平行的两相晶面间距变大;接洽了氮化铬地膜孪晶界领会前与领会后的层堆垛构造,领会前孪晶界面包车型的士构造单位有两种,有的三层为一单位,有的五层为一单位;孪晶界领会后的堆垛构造 表露五层为一单位; 2) CrN/MgO(111)体制取向联系为CrN(111)[112 ][1 10 ]//MgO(111)[112 ][1 10 ],界面不平坦然而大局部界面上均为完备的全共格界面,失配位错的位错间距很大,在9-14nm之间; 3) CrN/α-Al2O3(0001)体制取向联系为CrN(111)[112 ][1 10 ] // α-Al2O3(0001)[ 2110 ][ 01 10 ],相界面经过重构,即每个离子城市偏离固有的晶格场所,以至在笔直于界面目标也生存位移,进而展示弛豫应急。
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