论文摘要：超高温环境压力传感器结构设计与制造技术研究

       故障诊断与状态监控在提高航空发动机可靠性、确保飞行安全、缩短维修时间、提高耐久性和降低直接使用成本等方面发挥着重要的作用。现有压力传感器不能满足航空发动机高温区气体压力直接检测的要求，随着发动机进一步向高温方向发展，耐高温压力传感器的开发显得尤为迫切，本论文的目的是研制一种耐高温压力传感器。

       本课题提出一种全碳化硅结构的光纤法布里-珀罗压力传感器制造方法，在研究过程中进行了很多创新性探索。首先是利用355 nm皮秒激光加工方法在SiC基板上加工出阶梯孔结构；其次是在认真研究现有的一些SiC键合工艺方法的基础上，本课题开展了基于中间层材料分别为高性能陶瓷胶、旋涂玻璃和金属Ni的SiC键合工艺方法的研究，确定了适于压力传感器的制造方法；最后实施了SiC薄膜与SiC基板的键合、单根裸光纤与SiC基板的气密性封装。

       本课题研制出了全新的法布里-珀罗压力传感器，并对传感器进行了性能测试。实验结果表明：本论文研制的传感器性能良好，在0~1.4 MPa范围内，分辨率是5.5% F.S.，在25~100 ℃范围内，传感器的耐温特性表现良好。

 

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