免费论文摘要：微纳光栅加速率计计划接洽

    微纳光栅加速率计是一种新式微光学机械和电子加速率计，具备MEMS加速率计体积小，本钱低，功耗小的便宜，同声兼具光学加速率计高精度，抗电磁干预的便宜，在重力梯度丈量、陆地基地核爆监测、高精度弹性导航、油田勘测等范围具备要害运用价格。正文以实行微纳光栅加速率计为接洽目的，按照表面接洽、数学建立模型、数值仿真接洽和试验考证的接洽思绪，深刻接洽了微纳光栅加速率计敏锐头传感机理，优化安排了其光学和板滞构造，提出了加工计划，实行了忽米光栅加速率计道理原型机，实行了考查考证。    舆论重要发展了以次接洽：    一、忽米光栅加速率计敏锐头光学衍射表面领会与建立模型。比较领会了Michelson型和F-P型忽米光栅加速率计的构造道理和特性，鉴于矢量衍射表面，仿真领会了敏锐头忽米光栅搀杂衍射个性。在小间歇前提下，运用标量衍射表面，创造了刻画敏锐头光学构造参数光栅周期、占空比、入射光带长和光斑巨细等与光场个性表面联系的忽米光栅模子，优化安排了光学构造参数。    二、忽米光栅加速率计敏锐头力学敏锐表面领会与建立模型。提出忽米光栅加速率计敏锐头的玻璃-硅-玻璃三明治构造。表面领会了加速率计敏锐头的板滞力学和静电启动道理，创造了刻画板滞构造参数悬臂梁、品质块、气氛腔和阻尼等与板滞精巧度之间的表面联系。运用数值领会本领，优化安排了加速率计板滞构造参数。经过有限元领会，对优化参数举行仿真考证。    三、忽米光栅加速率计敏锐头加工本领接洽        表面领会了忽米光栅加速率计敏锐头加工工艺，提出了相邻器件电极互联、半划片、冗余电极和引线槽胶封的器件作废控制本领，辨别处置了高压键合打火、划片致器件作废、电极零落和芯片里面传染题目。安排了敏锐头加工的掩膜版。提出敏锐头键合引线和封装本领，处置器件真实性题目。    四、忽米光栅加速率计旗号检验和测定本领接洽。创造了忽米光栅加速率计道理原型机的体例模子。试验考证了忽米光栅加速率计的光栅衍射个性，无启动静态翻腾个性和静电启动动静个性。对准忽米光栅加速率计中广播段噪声和光源对立强度噪声，提出鉴于静电启动的相位调制检验和测定本领，试验截止表白该加速率计标度因子2.51V/g，沿用该检验和测定本领后，体例有了10 dB的信噪比提高。    五、纳米光栅加速率计接洽 鉴于忽米光栅加速率计接洽，提出具备更高精度和集成度的纳米光栅加速率计计划。表面领会了共面型和离面型纳米光栅加速率计的传感机理，创造了刻画亚射程光学构造和板滞构造参数与加速率计本能的表面模子，经过数值领会和Rsoft/Comsol光学仿真软硬件对模子举行仿真考证。实行鉴于聚焦离子束/扫描电子显微镜双束体例的纳米光栅加工，并实行了周期840nm，缝宽425nm，周期普遍性优于1%的单层纳米光栅样本。提出纳米光栅加速率计敏锐头加工本领，试验考证了单层纳米光栅的特出衍射个性。

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