免费论文摘要：非交战式预瞄准遏制体例的接洽

21世纪，微电子本领从来是消息财产的国家栋梁，动作微电子财产的要害东西， 光刻机在半导机制造业里是一种格外要害的摆设。晶圆预瞄准体例对于暴光摆设格外要害，晶圆在被送给处事台暴光前，会先在预瞄准台长进行一次瞄准定位处事。以是，晶圆预瞄准的瞄准精度就显得格外要害。因为其工艺诉求较高，这使得预瞄准台暂时的制形成本十分高贵，所以研制体积小，满意工艺精度、速率诉求，成究竟对便宜的预瞄准体例具备特殊要害的价格和意旨。接洽对准晶圆预瞄准台的遏制诉求，安排了场所环PID遏制器，引入了速率前馈，加速率前馈和陷波滤波器的安排步骤，实行“三闭环PID加前馈积累”构造的复合式遏制战略，并且对遏制参数举行树立，保护了遏制精度。安排了晶圆预瞄准的定位检验和测定算法：最小二乘法，应用边际变革率法计划缺边范畴。决定了拟合的本领求有缺边矫正观点。安排了一种真实的缺点积累本领。接洽预瞄准体例定位生存的缺点，经过创造的积累表举行缺点积累，灵验普及瞄准精度。结果，举行了所有体例的考证接洽，经过一系列的检验和测定本领，考证了体例的完全本能，开拓了满意安排诉求的预瞄准遏制体例。

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