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非球面镜片不妨很好的取消球差和其余关系像差,进而简化光学体例安排,赢得杰出的光学成像品质,所以获得越来越普遍的运用。怎样在满意确定丈量范畴和精度的基础下,实行非球面镜片创造进程中的在线检验和测定,是批量消费非球面镜片的要害。为了满意在线检验和测定诉求,正文安排了一种鉴于图像本领的检验和测定体例。该体例沿用了投影的本领赢得非球面镜片的子午面表面,运用摄像物镜把该表面成像到CCD光敏面上,并经过图像搜集体例将图像输出到计划机,沿用相映的图像本领和领会软硬件对该表面的数字图像举行处置和领会,领会的截止与表面安排值比拟,获得最后的检验和测定截止。体例为满意确定的丈量精度诉求,沿用了亮度高且亮度平均的LED背光板动作投影时的照明光源,并采用了大靶面、高辨别率的CCD对图像举行搜集。在图像处置和领会进程中,沿用体例标定和软硬件积累的本领取消或贬低成像摆设带来的检验和测定缺点,并沿用了亚像素边际检验和测定本领普及检验和测定精度。体例不妨经过采用较低倍数的摄像物镜,满意粗加工、半精加工日较低精度诉求的赶快丈量,也可经过采用较高倍数的摄像物镜,贯串沿用精细的光栅丈量处事台运用和图像本领,满意粗加工进程中精度诉求较高的检验和测定诉求,不妨满意创造进程中各别阶段的检验和测定须要。安排并研制了试验原型机,搜集了试验数据,实行了检验和测定的真实性和反复性试验。试验证明,该体例不妨实行对直径40mm以次的非球面镜片的面形精度的在线检验和测定,检验和测定精度可到达0.03mm。检验和测定简单、大略、赶快,处置了显微镜照明体例所用非球面镜片在线检验和测定的本质工程题目。
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