免费论文：扫描电子显微镜增配聚焦离子束纳米加工体例

摘 要聚焦离子束－电子束双束纳米加工体例，具备保守加工东西无与伦比的上风而渐渐变成新一代微纳米领会和微纳米加工本领，在微纳米加工、微纳米安排、微纳米器件的研制等上面具备要害运用。跟着半半导体工艺和集成通路产业的兴盛和生人对微观寰球看法的连接深刻，纳米高科技渐渐变成暂时高科技的前沿。而该纳米双束体例是在调整了扫描电子显微镜在微纳米级查看、成像、领会的的功效，及其聚焦离子束体例动作微纳米级加工、操控东西的上风的普通上，将二者精巧贯串组建而成的新式微纳米仪器，它的研制胜利将极大的激动我国纳米高科技的兴盛和关系行业的超过。正文开始引见了扫描电子显微镜、聚焦离子束及其双束体例的里面构造和处事道理，报告了聚焦离子束的重要功效及运用，商量了该体例的扩充功效，阐明了该体例多范围的运用及其兴盛远景。其次，正文体例报告了扫描电子显微镜增配聚焦离子束纳米加工体例的计划安排与筹备，摆设的二维、三维软硬件模仿及加工成型，安装进程中的本领需要与本领难点，双束体例调节和测试与运用阶段所做的处事及博得的局部功效，并对下一步处事做了筹备和安排：囊括X射线能谱在该双束体例上的安置与调节和测试，气体注入体例启发化学堆积巩固双束体例本能的可行性试验的参观与安排。结果，作家按照本质操纵体味拟订了《双束体例安定运用操纵画册》。

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