免费论文：硅微谐振式压力传感器本能尝试体例及试验接洽

正文以硅微谐振式压力传感器的所有本能评价为目的，鉴于硅微谐振式压力传感器敏锐元件的输出输入个性，安排实行了硅微谐振式压力传感器的本能尝试体例，该本能尝试体例具备对谐振频次、Q值、精巧度、反复性、线性度、温漂、时漂、基础缺点等本能参数举行尝试、查问和统计领会的功效。 1、按照硅微谐振式压力传感器的个性，并贯串本质研制和消费的须要，拟订了精细的本能尝试领会的计划。计划把对传感器的尝试处事过程设定于：创造传感器档案、举行尝试、保存截止、封真空、再举行尝试、保存截止、统计领会等几个进程。在举行尝试的步骤内，简直的尝试实质囊括发端尝试、精巧度尝试、反复性尝试、长久宁静性尝试、温度漂移尝试和闭环尝试。 2、搭建了硅微谐振式压力传感器的本能尝试体例，为传感器所有的本能领会供给了硬件平台。本能尝试体例由硅微谐振式传感器个性尝试仪、PPC3-700K压力校准仪、GDS-50L 上下温箱和PC机4局部有机的构成。 3、鉴于本能尝试计划和本能尝试体例的硬件构造，安排了简直的尝试领会过程，囊括PC机的过程和硅微谐振式传感器个性尝试仪的过程，实行了本能尝试体例的软硬件安排，实行了尝试领会进程的机动遏制和尝试数据的获得、处置、保存、查问以及尝试截止的统计领会等功效，为所有评价传感器的本能供给了完美的尝试本领。 4、鉴于正文的本能尝试体例，对传感器敏锐元件的热个性举行了试验接洽。得出了情况温度和热功率城市对敏锐元件的本能爆发感化，热功率的感化大于情况温度的感化，不妨经过贬低鼓励电压、减小梁的长度、减少梁的厚薄和宽窄的办法来贬低热功率感化。

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