免费论文：硅谐振凋零传感器数字闭环体例的接洽

硅谐振式压力微传感器在宇航范围具备较好的运用远景，但其输入旗号格外微漠（nV级），低信噪比（10－4），加入本质运用须要霸占确定的本领难关。本课题的接洽目的是：对准电热鼓励、电阻拾振办法的硅谐振式压力微传感器，建立鉴于FPGA的数字闭环体例。该闭环体例沿用关系检验和测定和扫频相贯串的本领，经过检验和测定传感器的谐振频次来实行对压力的检验和测定。正文引见了硅谐振式压力微传感器闭环体例的基础处事道理，在胜利研制出的模仿闭环体例的普通上，按照关系检验和测定道理、频次扫描本领和径直数字频次合成本领实行了鉴于FPGA的闭环体例安排。文中开始领会了该体例中的微漠旗号检验和测定本领、数字旗号处置本领及微处置器接口本领。其次矫正了前置夸大滤波模块，实行了硬件通路的安排与调节和测试，与此同声用硬件刻画谈话实行了旗号搜集及保存模块、外层器件遏制模块、关系检验和测定模块、扫频模块以及DDS模块的安排与实行，并举行了关系检验和测定算法的仿真和缺点领会。结果实行了传感器通压尝试试验。试验截止表白，正文所安排的鉴于FPGA的闭环尝试体例不妨灵验地检验和测定出传感器的谐振频次。与模仿闭环体例比拟，鉴于FPGA的硅谐振式压力微传感器闭环体例具备功耗小、精度高、可移植性强、集成度高，且不易受温度等情况参数和电压等外部电参数感化等便宜。另一上面，沿用FPGA本领不妨透彻遏制鼓励旗号的频次，保证体例不妨赶快捕获到每一次谐振频次的变革，使所有体例具备杰出的动静个性，而且可同声实行硅谐振式压力微传感器的开环、闭环检验和测定，对于传感器的智能化具备要害的潜伏价格。

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