免费论文：微颗粒外表磁控溅射镀膜接洽

在粉体颗粒外表镀地膜可明显巩固其运用工效。磁控溅射堆积动作一种高品质的镀膜本领，也渐渐被运用于粉体颗粒外表镀膜。本舆论按照磁控溅射及粉体颗粒的特性，安排并研制了一套微颗粒磁控溅射镀膜摆设；沿用试验与表面领会相贯串的本领，对在粉体颗粒外表磁控溅射镀非金属地膜和氧化学物理地膜举行了体例的试验接洽，并对粉体颗粒外表磁控溅射镀膜的机理举行了接洽；同声还对微颗粒外表镀非金属膜的运用举行了接洽。重要接洽处事囊括如次五个上面：(1) 按照微颗粒具备比外表积和外表能较大、颗粒之间易聚会、曲率半径小的特性，安排研制了一套微颗粒外表磁控溅射镀膜摆设，该摆设是在普遍磁控溅射镀膜摆设的普通上，减少了一个既可振荡又可动摇的样本台。试验截止表白，该摆设能使微颗粒维持较好的分别性和震动性，使微颗粒不妨等几率地表露在溅射束流中，进而到达了在微颗粒外表高品质镀膜的手段。(2) 运用磁控溅射本领，发展了在空腹微珠外表镀非金属Ag、Cu、Ni和Co膜的试验接洽。经过光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、透射电子显微镜(TEM)、电子感应啮合等离子体体亚原子放射光谱仪(ICP)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和亚原子力显微镜(AFM)等尝试仪器，对空腹微珠外表非金属膜的外表形貌、外表因素、微构造及外表精细度举行了尝试和领会。截止表白：所镀的空腹微珠外表非金属膜具备平均性好、纯度高、精致性高及附效力强等特性。各别溅射前提对非金属地膜品质(外表形貌、厚薄、外表精细度及结晶)有着径直的感化。溅射功夫越长或溅射功率越大或承载量越少，地膜的平衡厚薄越厚，地膜外表越精细，非金属地膜的结晶度就越高。因为非金属Ag、Cu、Ni和Co的溅射率的分别(YAg>YCu> YNi> YCo)，在沟通溅射前提下，制备的四种各别非金属膜具备各别的厚薄，其外表精细度也各别，它们的延长趋向与溅射率的延长沟通。同声，用磁控溅射本领，也胜利地在SiC微颗粒外表镀上了非金属铜膜。(3) 运用脉冲磁控溅射本领，发展了在空腹微珠外表镀TiO2地膜的试验接洽。SEM截止表白，地膜外表平均精致；XPS截止表白，Ti元素重要以Ti4+生存，这证明空腹微珠外表已胜利地镀覆上了TiO2地膜；XRD截止表白，溅射功夫对TiO2地膜的结晶有着要害的感化，溅射功夫越长，TiO2地膜越简单结晶。该本领所制备的二氧化钛地膜有较高的平均性和附效力。(4) 发展了磁控溅射对空腹微珠外表非金属地膜的堆积机理接洽。接洽截止表白：溅射亚原子连接变革的对立堆积观点，不妨取消普遍溅射镀膜所惹起的物理暗影效力，同声不妨激动平均性好、精致性高、孔隙率低及精细度值小的地膜的天生。地膜的溅射前提及吸附亚原子的迁徙个性确定了堆积岛的尺寸。在地膜成长的结果阶段，因为各上面成分的归纳感化，空腹微珠外表赢得了具备较低精细度的平均非金属膜，但其成长办法仍为三维岛状成长形式。(5) 发展了对微颗粒外表镀非金属地膜的运用接洽。提出了把外表镀非金属膜的轻质微颗粒用来樊篱和干预电磁波的构想。运用微颗粒磁控溅射镀膜摆设，在直径为1~3mm的发泡聚苯乙烯(EPS)颗粒和轻质擦镜纸外表镀非金属铜、镍和银地膜。把镀膜样本举行3mm电磁波的静态和动静衰减考查接洽。静态衰减考查表白：镀非金属膜EPS、镀非金属膜擦镜纸及镀非金属膜空腹微珠，对3mm电磁波的静态衰减功效都要好于超薄导热片和箔条。动静衰减考查表白：在浓淡邻近的情景下，镀铜膜擦镜纸、镀铜膜EPS颗粒和镀镍膜EPS颗粒样本对3mm电磁波单元长度的衰减分贝数都要大于超薄导热片。

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