免费论文：面向IC封装的高本能疏通体例接洽

正文的接洽东西——高本能疏通体例是新颖集成通路后封装摆设的中心元件，其动静本能对IC（Integrate Circuit）封装的功效和品质起着要害效率，径直感化到半半导体产物的品质与本钱。跟着芯片引脚数目的连接减少和引脚间距的连接减小，封装摆设对高本能疏通遏制体例的疏通精度(主假如定位精度)和运转速率、加速率提出了越来越高的诉求，这向疏通遏制及安装操纵的极限本能提出了严酷的挑拨。为实行高速、高精度的疏通定位，组织安排、建立模型本领和遏制本领等要害本领的接洽变成电子封装后道岁序的亟待处置的要害本领步骤。 为满意封装摆设对高本能疏通体例的诉求，正文以曲线电机启动的高本能疏通遏制体例为东西，接洽了高本能XY处事台构造安排优化、宽频多模态疏通啮合建立模型、能源学领会和遏制器安排本领等题目，实行了高本能疏通体例组织的构造优化、板滞体例和电气体例的全部优化。最后为高本能疏通疏通体例的安排、优化、遏制等要害本领供给领会决计划。 本舆论提出了一种实用于高本能疏通平台的宽频多模态刚柔啮合建立模型领会与参数优化本领，为高本能疏通体例的建立模型与构造优化供给领会决计划；在此普通上，提出了包括电气、板滞、遏制器诸多安排参数的机电动静模子，实行了机电体例共同仿真，最后到达机电体例并行优化安排；在遏制器安排上面，本舆论举行了鉴于扰动察看器和最优猜测前馈的分段PI-D曲线电机疏通遏制接洽，该遏制本领灵验地控制了高本能疏通体例的宽频振荡，并保护了体例的相应速率以及盯梢、定位精度；结果，本舆论在表面领会的普通上，安排并研制了T型多曲线电机冗余启动高本能疏通体例原形机，并实行了最大速率0.73m/s，最大加速率10g，定位精度1μm的要害本能目标。 正文重要处事实质及功效简直如次： 1．高本能疏通平台宽频多模态刚柔啮合建立模型与参数优化本领接洽 归纳商量板滞贯串面以及元件自己的弹性别变化形，提出了一种对准高本能疏通平台的刚柔啮合建立模型本领——“宽频多模态刚柔啮合建立模型”本领。该本领沿用“绷簧＋阻尼器”简化动子与疏通元件之间的恒定贯串面，创造多磁体疏通平台的典范模子；沿用“绷簧+阻尼器+滚子”简化路轨贯串部，创造反应体例主疏通和多个微疏通及其产生的多模态疏通啮合的宽频多模态疏通啮合磁体模子；将较低固有频次疏通元件柔性化，从而创造刚柔啮合模子。经过试验考证，以此建立模型本领创造的参数化表面模子与试验赢得的本质体例频次个性普遍，而且反应了高本能疏通体例反复无常量、非线性和啮合性等特性。运用参数化模子，对体例中各个参数与体例动静本能的联系举行仿真和领会，进而为该类体例的的优化安排供给了表面引导和数学按照。 2．高本能疏通体例多学科建立模型、共同仿真及优化 高本能的疏通体例的接洽波及诸如板滞、电子、遏制等多个范围，正文对准高本能疏通体例机电啮合特性，提出一种鉴于仿真软硬件接口的多学科建立模型和共同仿真本领，创造包括电气、板滞、遏制器多安排参数的机电啮合动静模子，领会并优化学工业机械电体例，实行机电体例并行安排，最后到达机电体例归纳优化。本舆论运用子过程办法开拓了共同仿真集成情况，以简单软硬件的运用以及各软硬件之间的数据传输，使得高本能疏通遏制体例的建立模型、领会、安排、遏制、仿真以及试验越发简单、赶快。 3．鉴于扰动察看器和最优猜测前馈的分段PI-D曲线电机疏通遏制接洽 封装摆设高加速率启、停惹起的宽频微振荡以及体例伴随处事台场所变革而赶快时变的动静个性都对遏制器的安排提出了挑拨。总体来说，面向封装的高本能遏制器的总体诉求是稳态盯梢精度高、动静相应快、抗干预本领强、鲁棒性好，正文安排接洽了鉴于扰动察看器和最优猜测前馈的分段PI-D遏制算法。 高本能疏通体例在高动静疏通下路轨贯串部惹起的高频振荡对体例爆发扰动，简直展现为处事台除去在实行既定疏通的同声，在其它目标生存着微弱的振荡，那些被激励的振荡以微弱的曲线位移或角位移效率于体例。正文采用DOB(Disturbance Observe，扰动察看器)遏制本领实行扰动控制，试验截止表白DOB具备杰出的干预控制本能和对体例参数变革的鲁棒性；基于PID遏制算法大略、鲁棒性好及真实性高，本文华用分段PI-D 遏制——在电机起停、大幅值进给阶段，只加比率、微分演算，废除积分矫正，当曲线电机的本质位移逼近给定目的位移时，则回复积分矫正效率，以取消体例的稳态缺点；为革新盯梢精度，本文华用鉴于L2范数优化的零相位前馈遏制（ZPETC），试验截止表白该本领大大普及了体例的盯梢精度。 4．T型多曲线电机冗余启动高本能疏通体例原形机研制 按照体例的优化安排领会，本舆论在原有的由ASM Pacific Technology公司开拓的一种疏通平台普通上，开拓研制了高本能XY疏通平台——多曲线电机冗余启动（X轴由双曲线电机冗余启动＋Y轴由单电机启动）T型XY疏通平台，并赢得国度创造专利（专利受权号：ZL 2006 1 0083827.9）。试验截止表白，该疏通体例可实行的要害本领目标到达：最大加速率10g，定位精度1μm，频带宽窄250Hz。 综上所述，本舆论实行的处事，为高本能疏通体例疏通学、能源学建立模型及优化安排上面供给了表面引导和数学按照，实行了电气、板滞和遏制器中各个安排参数的并行安排，为高本能疏通体例的组织安排、建立模型本领和遏制本领等要害本领供给领会决计划。

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