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本课题是对13007系列高压双极型功率器件的创造工艺做了接洽,领会了暂时重要的几种创造高压双极型功率器件的工艺本领。接洽后创造,保守工艺下创造的芯片有着及格率较低的题目,主假如器件的少许要害参数不对格的截止,囊括反向击穿电压低,反向泄电流大,值不平均,以及饱和压降大。对准之上题目,对每道岁序举行领会后,找到了感化那些参数的要害岁序有基区分散、外表钝化以及背后非金属化。接下来提出应用新的工艺:硼乳胶源基区分散、PI-SiO2双层介质外表钝化和Ti-Ni-Ag多层介质背后非金属化来代替或矫正保守工艺:BN平面片状源分散、简单介质外表钝化和简单介质背后非金属化。正文重要对准了前两个上面举行了接洽。除去从表面上领会了新工艺比拟于保守工艺的上风除外,为了考证新工艺在本质应用傍边的可行性,还举行了洪量的试验。将那些新的工艺应用于13007系列的高压双极型功率器件中,并处置了新工艺在应用进程中的要害本领题目。结果经过对试验截止和数据的领会,证明比拟于保守工艺,沿用新的工艺后的13007功率器件有着耐压高,反向泄电流小,小交流电高,饱和压贬低的特性。
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