免费论文：高速亚原子力显微镜探针形变检验和测定与遏制本领接洽

亚原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）自从问世此后，因为其不妨在大气、真空、液相情况下对半导体、半半导体和非导体实行纳米标准的表征，仍旧普遍地运用于底栖生物、医术等范围[1]。然而惯例亚原子力显微镜的功夫辨别率很低，从来变成控制其察看纳米标准动静本能、实行产业化当场丈量、纳米加工适用化兴盛的要害成分。连年来，跟着半半导体加工、压电资料创造、电子、计划机等本领的飞快兴盛，亚原子力显微镜到达视频成像速率变成大概。所以，跟着AFM的兴盛，高速AFM仍旧变成接洽的热门。AFM的成像速率重要依附于各个局部的带宽，个中最重要的是扫描器与微悬臂探针两个元件。作家鉴于试验室高速亚原子力显微镜的接洽近况，提出了用来高速亚原子力显微镜探针形变的激光检验和测定安装及其检验和测定本领，变换了惯例亚原子力显微镜基础光路构造，而且使入射到微悬臂探针的激光光斑好多尺寸减少到16um以内，取消了过剩的透射激光对亚原子力显微镜成像精度的感化，同声保护扫描成像速率为25帧/秒，具备在纳米标准察看样本动静进程的本领。其余，鉴于安排的高速亚原子力显微镜探针形变检验和测定构造，安排了与其配合的前置夸大器构造；举行了鉴于LabVIEW软硬件的切变力传感器品德因子的数四声控处事，同声对鉴于LabVIEW软硬件亚原子力显微镜的PID遏制进程发展了发端的处事。要害字：纳米检验和测定，高速亚原子力显微镜，品德因子，PID遏制

来源：半壳优胜鲸鱼幸运星转载请保留出处和链接！

本文链接：http://87cpy.com/261700.html