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品质流量遏制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)不妨在气体的压力和温度变革时透彻地丈量和遏制气体的品质流量,具备精度高、反复性好、相应速率快、宁静真实、处事压力范畴宽、操纵运用简单、可大肆场所安置等特性,其可与流量积算仪配系运用,便于与计划机贯穿实行机动遏制。正文经过对现有接洽功效的归纳与领会,决定了正文的接洽目标为研制低本钱、高精度、快相应、便于与计划机贯穿的品质流量遏制器及流量积算仪。 本舆论精细的阐明了热式气体品质流量遏制器及流量积算仪的开拓处事。对准品质流量遏制器的零漂题目,正文经过接洽与尝试传感器的启动通路提出了遏制零漂的本领。对准品质流量遏制器的相应功夫较慢题目,正文安排了传感器旗号安排通路,实行了对相应功夫的加快。流量积算仪局部的硬件以ADI公司的ADuC812单片机为中心,沿用模块化安排的思维,将安排计划分为MCU模块、A/D和D/A模块、键盘输出模块、LED表露模块和通信模块。软硬件安排囊括末座机的AD采集样品步调、刹时流量计划步调、刹时流量表露步调、DA输入步调、串行阻碍步调、累计流量计划步调的安排,还囊括上位机监察和控制步调的安排。 本课题结果尝试了研制的热式品质流量遏制器的精度、温度系数和相应功夫目标,以及流量积算仪的串行通信功效。尝试截止表白本课题所安排的热式品质流量遏制器及流量积算仪的各项本能基础到达了预期的安排目的。
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