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跟着人们对微型计算机电体例(MEMS)的日益急迫需要,接洽兴盛适于微启动或传感的资料和构造显得尤为要害。对于具备形势回顾效力(SME)和伪弹性(PE)个性的形势回顾合金 (SMA)——NiTi地膜展现出的诸多便宜使得其在MEMS范围变成关心点。为此,正文以微泵为接洽东西,在接洽SMA个性和本构模子的普通上,经过有限元软硬件MSC. Marc举行数值仿真,提出并安排了一种新式NiTi地膜资料的微泵膜片构造,并对微泵智能构造的动静个性举行了接洽。开始深刻接洽NiTi形势回顾合金地膜的个性和本构模子,与试验的截止比较考证了采用的NiTi合金热-机本构模子的精确性;同声,热-机本构模子不妨很好地刻画NiTi-SMA的SME、PE个性。接着,经过热启动微泵膜片的热-固耦核计算与试验截止的比较,考证了数值模仿本领的精确性,为新式微泵构造的安排奠定了普通。在沟通前提下,创造了Al/Si,NiTi,NiTi/Si三种资料的微泵膜片模子,并对数值模仿截止举行比较,截止表白沟通前提下NiTi/Si膜片的挠度变形量最大,本能最佳。同声,贯串三种膜片资料的变形机理提出了新式的微泵膜片,资料为NiTi/Si。运用参数化建立模型的本领,创造微泵膜片的三维有限元模子。经过计划膜片好多尺寸(半径、NiTi/Si膜的厚薄比、膜片厚薄、涂层表面积)对挠度的感化决定了最优的圆形膜片构造。结果,按照微泵的处事道理,提出了微泵流量的计划本领,并深刻接洽了NiTi的晶化温度(即初温)、处事状况的加热温度、加热频次和加热地区对微泵流量的感化。正文安排的微泵膜片构造可为形势回顾合金在微型计算机电体例的深刻运用供给本领扶助。
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