免费论文摘要：谐振式光子晶体陀螺的普通接洽

连年来，跟着微纳米加工本领、微电子本领、微光学本领的进一步兴盛，光学和微型计算机电体例本领的贯串将变成下一步本领兴盛的要害目标之一，伴跟着展示了第三代光学陀螺，即“微光学陀螺”。正文革新性提出的谐振式光子晶体陀螺，即是一种以光子晶体为普通器件、以光学Sagnac效力为检验和测定道理的新式观点传感器，它具备容易实行光电一体化集成、容易袖珍化；环形腔内无增值介质，所以不生存与增值介质相关的效力惹起的零点漂移和“自锁”；鉴于光子晶体构造和抗情况干预本领强等上风，变成真实的袖珍化的全固态陀螺。正文开始体例阐明了谐振式光子晶体陀螺的处事道理，引见了光子晶体的导光道理及其基础表面，指出光子晶体谐振腔是谐振式光子晶体陀螺的中心本领。经过比拟与领会空间光路谐振腔和波导式谐振腔两种安排计划，决定了空间光路光子晶体谐振腔安排计划和基础形成。用RSOFT软硬件FULLWAVE模块和BANDSOLVE模块举行了光子晶体谐振腔的普通器件-光子晶体微镜的仿真计划领会与优化安排；同声从谐振腔的个性领会动手，对无源环形谐振腔作了表面上的接洽，创造了谐振腔的数学模子，运用MATLAB软硬件实行了相映的仿真计划，体例深刻地领会了光子晶体谐振腔参数（光子晶体输出输入镜外表曲射率、谐振腔边长、光源谱宽）和腔内耗费对光子晶体谐振腔谐振本能和光子晶体陀螺精度的感化。以普及谐振腔明显度及陀螺体例精度为安排目的，对谐振腔构造举行优化安排。安排仿真截止表白，光子晶体曲射镜的曲射率不妨到达99.49%。当光源线宽为30kHz，输入功率为2.1mW时，使光子晶体输出输入镜曲射率取最优值98.51%时，光子晶体谐振腔的明显度不妨到达205.3，谐振深度为0.992。此时对应的谐振式光子晶体陀螺的极限精巧度可达0.97º/h。结果，体例领会和比拟了亚射程级光子晶体的几种加工本领，指出双光飞秒激光加工本领更实用于在光刻胶长进行三维光子晶体的加工，本名目更符合沿用ICP深硅加工工艺，最后给出了光子晶体微镜的微加工工艺过程，并实行光子晶体刻蚀前的光刻工艺试验筹备，为后续的加工本领接洽奠定了本领普通。

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