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L10型FePt因为具备高的磁各向异性,极有大概变成下一代超高密度磁记载资料,所以遭到普遍关心。对于FePt合金资料更加是纳米复合地膜的接洽已变成近几年本范围的接洽热门。正文试验运用磁控溅射的方法治备了一系列FePt多层膜样本,溅射态的样本举行真空退火处置后,运用振荡样本磁强计(VSM)等本领对样本的本能举行了尝试表征,按照VSM截止决定了制备FePt多层膜样本的最好FePt配比。FePt配比决定后,将厚薄可控的B层掺杂到FePt多层膜样本中,制备了一系列FePtB多层膜体制,开始,沿用中央层掺杂和底层掺杂等各别掺杂办法的拉拢来制备B掺杂样本以接洽退火后FePtB多层膜体制磁学本能的变革以及里面成相的情景;其次,还将厚薄各别的B层动作中央层掺杂到FePt多层膜样本中形成各别B掺杂浓淡的多层膜样本。退火后,经过X射线衍射(XRD)、振荡样本磁强计等表征本领接洽各别的掺杂浓淡对FePt多层膜样本成相及退火温度的感化。试验创造,掺杂B层后的FePt多层膜样本的矫顽力较未掺杂样本有了很大水平的普及,而且里面展示了笔直目标的选择优秀者取向。各别厚薄的B层掺杂到FePt多层膜样本中后,跟着掺杂层厚薄在确定范畴内的减少,FePtB多层膜样本的无序化相变更加充溢,样本内FePt晶粒的尺寸也获得了灵验遏制。当B层为14nm时,FePtB多层膜体制展示了杰出的笔直取向个性。其余,B掺杂对于FePt多层膜样本的退火温度有确定的贬低效率。
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