免费论文摘要：鉴于光栅本领的微纳光学加速率计接洽

跟着军事的兴盛，对弹性器件的精度诉求越来越高，更加是对高精度加速率计的诉求。高精度加速率计在弹性导航、航天、矿产勘测、地动监测等上面有着宏大的运用远景。鉴于光栅本领的微纳光学加速率计，归纳了微光学传感器和微板滞传感器的便宜，具备精度高、体积小、品质轻、符合本领强等便宜，不妨到达很高的辨别率，具备要害接洽价格和运用价格。舆论开始引见了鉴于光栅本领的微纳光学加速率计的基础丈量道理。初次提出了一种新式的高精度忽米光栅加速率计构造。从标量衍射表面动身，对忽米光栅加速率计的衍射光强随位移的变革、光栅底部曲射镜曲射率变革对光强弧线的感化举行了表面领会，领会截止表白：当光栅底部曲射镜曲射率为0.8时，较光栅底部未加曲射镜时的光学精巧度增大了20倍。光学精巧度的普及，贬低了对器件板滞构造精巧度的安排诉求，利于于进一步普及器件板滞强度、固有频次、尝试的频次范畴及真实性。对忽米光栅加速率计举行了演练试验，察看到了光强的周期变革局面，考证了忽米光栅对位移举行传感的可行性。从近场光学动身，贯串Rsoft光学软硬件，对纳米光栅加速率计的光学个性举行了领会，得出了纳米光栅透射率随位移变革的弧线，并决定了纳米光栅的构造参数。舆论对这种新式的忽米光栅加速率计的板滞构造举行了表面领会及安排。运用有限元软硬件ANSYS对加速率传感器敏锐元件构造的板滞个性举行了模仿仿真，领会表白：减少梁长、减小梁厚、梁宽无助于于加速率计精度的普及，但会贬低加速率计的板滞强度、真实性及固有频次。经过归纳商量加速率计的精巧度、固有频次和真实性等各项本能目标，贯串模仿仿真截止，最后对该加速率计的板滞构造举行了优化安排，决定了器件的好多尺寸。对本舆论所提出新式忽米光栅加速率计及纳米光栅的微加工创造工艺举行了接洽。鉴于体硅刻蚀、非金属镀膜、硅-玻璃键合等加工工艺，安排并决定了忽米光栅加速率计敏锐芯片的加工工艺过程，实行了器件要害元件的加工。并对纳米光栅的加工工艺举行了接洽，应用FIB本领，对纳米光栅的加工举行了工艺试验，获得了周期性更优的纳米光栅样本。

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