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鉴于微型计算机电体例(Micro-Electromechanical Systems,MEMS)本领的弹性器件具备宏大的兴盛远景,代办了弹性本领的兴盛程度。普及MEMS弹性器件本能是微弱型导航、制导与遏制体例(Micro Guidance Navigation and Control,MGNC)兴盛的瓶颈本领,是微弱型弹性导航本领的要害兴盛目标。我国MEMS弹性器件现阶段兴盛的重要目的是普及器件精度和真实性,正文发展了普及MEMS弹性器件本能的本领和试验接洽。接洽并提出了更进步的石英MEMS陀螺仪的建立模型本领和积累本领,接洽了MEMS陀螺参数解耦尝试本领,矫正了鉴于MEMS弹性器件的MIMU构造安排并完备了其真实性安排本领。舆论重要接洽处事及革新如次:1.对准接洽中尝试到的石英MEMS陀螺漂移周期性缺点,创造了其透彻的缺点模子。安排了各别采集样品频次下的尝试试验,试验表白石英系列MEMS陀螺仪的短时漂移在高频采集样品时展现出明显的周期性;提出了该周期性缺点各参数的发端标定本领,并安排离线积累试验和在线积累试验领会了其标定功效。领会石英MEMS陀螺仪的周期性缺点感化器件精度的机理,运用缺点传播表面接洽了各个周期性缺点参数的传播个性,创造频次缺点是周期性缺点感化导航精度的最重要的成分。提出周期性缺点的透彻标定本领,安排试验表明该本领不妨精确标定缺点参数并创造出透彻的缺点模子。2.对准捷联弹性导航体例(Strapdown Inertial Navigation System,SINS)的频次配合进程中数据光滑对石英MEMS陀螺周期性缺点积累精度的感化,提出一种赶快高精度的周期性缺点积累本领。领会了常用的周期性缺点处置本领在处置SINS中石英MEMS陀螺周期性缺点时生存的缺点,提出鉴于时域因变量表白式的周期性缺点积累思绪;对准在线径直积累本领的积累速率缺点,提出赶快周期性缺点积累本领,试验截止表白固然其积累速率大幅普及了,然而积累精度会振动散发到极限饱和值;接洽该积累精度散发题目的机理,表面领会和试验截止表白数据光滑进程会重要感化周期性缺点的频次宁静性;提出了一种新的赶快高精度周期性缺点积累本领,先运用数据光滑前的缺点数据决定缺点折算公式的系数,再以折算公式积累数据光滑后获得的广播段缺点值,试验表白这种本领在保护及时性诉求的基础下,能避开数据光滑进程对周期性缺点频次宁静性爆发的感化,普及积累精度。3.对准MIMU尝试中遇到的MEMS陀螺仪标度因子与输出轴失准角之间的缺点啮合题目,提出一种高精度解耦尝试本领。领会了该啮合题目的内因和感化,提出解耦尝试本领,给出领会耦尝试表面按照,创造了完备的数学模子;接洽领会耦尝试试验本领,提出一种低本钱解耦尝试试验安装;安排了一种精细安置基准体,不妨矫正输出轴失准角,消减缺点啮合水平。半物理仿真和计划机仿真截止表白解耦尝试本领的尝试精度不受输出轴失准角巨细的感化,优于保守本领;精细安置基准体能普及MEMS弹性器件的运用本能和真实性。4.对准微弱型遨游器对MIMU体例的需要,提出了一种“T”型MIMU构造的安排思绪和本领。安排了鉴于MEMS弹性器件的“T”型维持构造的构型,对准常用MEMS陀螺辨别安排了相映的“T”型MIMU体例构造,运用有限元本领领会了MIMU构造的各项力学个性和振荡个性。按照真实性安排本领,提出了鉴于MEMS弹性器件差分运用本领的MIMU构造,和实用于高速自转型微弱型遨游器的框架式MIMU安排本领。运用截止表明,“T”型MIMU构造进一步缩小了体积,不妨满意微弱型遨游器的诉求。
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