免费论文摘要：单晶硅提拉成长遏制体例要害本领接洽

依附优质的个性、日臻完备的工艺以及普遍的用处等归纳上风，单晶硅已变成今世产业中运用最多的半半导体资料，动作电子消息行业的最普通性资料，单晶硅的运用已浸透到人民财经和国防高科技中各个范围。提拉法（CZ法）晶体成长以其自己的成长进程特性、较快的成长速度以及较高的晶体制品率，暂时已变成制备单晶硅以至其余人为晶体最重要的一种本领。妇孺皆知，CZ法晶体成长是一个典范的跨学科接洽名目，涵盖了晶体成长、热流体场、板滞电子、机动遏制以及计划机等本领范围，其领会及遏制格外搀杂。所以，对CZ法晶体成长遏制体例举行接洽具备格外要害的意旨。正文在对CZ法晶体成长摆设及其遏制本领的国表里兴盛近况举行深刻领会的普通上，开始创造了CZ法晶体成长的温度状况方程，对准其大惯量、大滞后的个性，引入鉴于DMC的猜测遏制本领，灵验缩小了从加热功率变换到熔液温度变革之间的安排功夫，普及了体例相应的赶快性，并经过仿真领会考证了其灵验性。恒定的晶体直径是CZ法晶体成长进程的重要遏制目的。CZ法进程中，拉速是晶体直径遏制的安排量之一，其对直径形成的感化最为赶快。正文在归纳古人接洽功效的普通上，领会拉速——直径之间的联系，应用自抗扰遏制（ADRC）本领，以期缩小遏制进程中百般干预大概对直径形成的感化，仿真截止表白，此本领能灵验普及体例的抗干预本领。正文在举行本质晶体成长试验进程中，创造拉速振动较大是CZ法消费进程中一致生存的一个局面；而古人的接洽功效表白拉速的大幅振动简单形成晶体的构造性微观缺点。正文深刻领会了感化拉速振动的里面机理，沿用新的遏制构造，以拉速缺点动作温度积累速度的按照来安排加热功率，并引入朦胧遏制及遗传算法表面，同声普及了功率积累的精度和体例鲁棒性。仿真截止也表白该遏制构造和关系遏制算法的引入灵验控制了拉速的振动，一上面贬低了晶体缺点的产盼望率，同声因为拉速长周期、大幅度振动的缩小，对晶体产量也带来确定的主动感化。结果，在领会比拟百般遏制计划的普通上，运用PLC的高真实性及PC在编制程序上面的精巧性安排并创造通用、真实的PC+PLC遏制平台；实行了所有体例的调节和测试和单晶硅提拉成长试验，并考证遏制构造及关系智能遏制算法的精确性和可行性，实行了晶体直径的高精度遏制。

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