免费论文摘要：硅基微镜ICP工艺仿真与本领接洽

空间谐振式MOEMS陀螺是由北京宇航航天津大学学提出的一种新式的光学陀螺仪。该陀螺谐振腔由四周彼此笔直的微镜构成，其对微镜的彼此笔直度有极高的诉求，往常沿用的分立式安排本领构造搀杂且不符合在弹性大的情况中运用，所以沿用一体化加工更有意旨。本课题动作一体化谐振腔加工的前期探究，对微镜的ICP刻蚀本领仿真和工艺举行了接洽。舆论领会了等离子体体刻蚀的基础道理和不一致离子体源的特性，比较了现有的三种合流ICP刻蚀特性，引见了沿用的ICP-98A刻蚀机的特性。舆论平等离子体刻蚀举行了仿真接洽。经过比较仿真的常用模子，给出了各仿真模子的优缺陷。在领会intellisuite软硬件模子和算法的普通上，优化了ICP刻蚀模子，运用intellisuite软硬件实行ICP刻蚀仿真。舆论中心对ICP刻蚀工艺的举行了接洽。经过本质加工接洽树立了刻蚀掩膜的采用本领，决定了沿用BP212-37动作掩膜，经过探求感化光刻工艺的甩胶速率与功夫，前烘温度、暴光功夫等关系成分实行了BP212-37光刻工艺的优化遏制。实行了光刻胶为掩膜的硅片ICP刻蚀个性的接洽，囊括刻蚀速度个性的接洽以及刻蚀形貌的接洽。经过刻蚀速度个性的接洽树立了加工图形时ICP到达最大刻蚀采用比的符合前提范畴，刻蚀图形个性接洽树立了加工须要图形所需的工艺参数安排目标。最后经过优化的工艺加工出近30忽米的硅基微镜。结果实行了硅基微镜的尝试以及对外表光滑工艺举行了发端接洽，并指出了将来的优化目标。舆论对硅基微镜ICP刻蚀本领的接洽，是空间谐振腔微加工本领的前期探究，为下一步MOEMS陀螺谐振腔的加工奠定本领普通。

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