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跟着纳米力学尝试本领的兴盛,保护微、纳米硬度丈量截止的复现性和量值一致性别变化得特殊要害,所以对感化微、纳米硬度丈量精度的三因素即压头针尖的好多半径、微位移和加载力的校准提出了需要。本舆论对准纳米力学尝试体例压头加载力的校准和其它微弱力值丈量与校准的需要,研制一种微弱力值典型,并接洽其校准本领。本论文华取了“分体柔性等臂微力天平”的思维,安排了悬臂梁凋零小力值典型加载力校准安装,个中一臂作使劲是硬度压头加载力等被丈量的力,另一臂作使劲是E2等第砝码复现的重力,如许,经过微弱力值典型的参数传播,实行了硬度压头加载力等的丈量与校准。舆论开始按照纳米力学尝试体例的最大载荷和最大压入深度的范畴,安排了一组各别规格尺寸的悬臂梁凋零小力值典型以满意纳米力学尝试体例加载力校准的需要。舆论对微弱力值典型的校准本领举行了接洽,创造了微弱力值典型的校准安装。该本领以砝码复现的重力动作对微弱力值典型的加载办法,以纳米激光干预仪动作微弱力值典型变形量的丈量摆设,实行了对微弱力值典型的校准,丈量截止径直溯源到了品质和长度国际基础单元。并对丈量截止举行了最小二乘法拟合,对拟合截止的不决定度举行了领会。结果,运用校准过的微弱力值典型对纳米力学尝试体例的加载力举行了校准,并对丈量截止举行了领会,试验截止表白用微弱力值典型校准纳米力学尝试体例的加载力是可行的。
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