免费论文摘要：谐振式硅微构造压力传感器拉拢闭环本领接洽

谐振式硅微构造压力传感器具备高精度、高宁静性、准数字输入等便宜，但其动静个性受闭环本领的控制。为领会决这一题目，正文对谐振式硅微构造压力传感器鉴于幅频个性的闭环体例动静个性举行试验与领会，安排了谐振式硅微构造压力传感器与硅压阻式压力传感器拉拢的闭环体例，安排并实行了拉拢闭环本领，进而在保护确定精度的前提下，到达了革新其动静个性的手段。舆论重要实行了以次处事：1．经过对谐振式硅微构造压力传感器鉴于幅频个性的闭环体例动静个性的试验与领会，获得了其阶跃相应的相应功夫。对试验截止举行领会表白，在相应功夫中谐振器宁静振荡的建登时间为相应功夫的重要构成局部，而谐振器固有频次对压力变革的相应功夫在相应功夫中不是重要因素。2．安排了拉拢闭环本领。开始沿用硅压阻压力传感器赶快决定谐振式压力传感器较窄的扫描范畴。其次当谐振式传感器不许盯梢压力的变革时，将过程矫正的硅压阻压力传感器的输入动作体例的输入，矫正值是压力变革不大时的谐振式压力传感器与硅压阻压力传感器的输入差值。3．为使拉拢闭环本领获得考证，对谐振式硅微构造压力传感器与硅压阻式压力传感器拉拢的硬件通路举行了安排及并搭建了闭环动静个性试验体例。结果，对拉拢传感器闭环体例举行了动静个性试验，截止表白拉拢闭环本领不妨在较大水平上普及体例的动静个性。

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